半導體巨擘英特爾拿下艾司摩爾（ASML）首台最新型「High-NA EUV」訂單，成為這款高數值孔徑極紫外光微影系統的買家。然而，競爭對手台積電仍沒有動作。台積電高層表示，台積電A16先進製程節點不一定需要這部機器，原因竟是價格「太貴了」。
外媒報導，台積電業務開發資深副總經理暨副共同營運長張曉強，日前在阿姆斯特丹的一場技術研討會上直言：「我喜歡High-NA EUV的能力，但我不喜歡它的標價」。
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據了解，這款新設備雖然有助於將晶片設計縮小高達三分之二，但售價高達3.5億歐元（約新台幣118.7億元），遠高於ASML一般常規EUV機器2億歐元（約新台幣67.8億元）的價格。
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據悉，這款最新型高數值孔徑EUV光刻機「High-NA EUV」的造價成本超過3億美元（約新台幣89.7億元），可滿足一線晶片製造商的需求，在未來十年內能夠製造出更小、更好的晶片。然而，面對如此高昂的價格，台積電似乎並不急於搶購。
