透過球面像差矯正器修正像差,以原子級別的解析度觀察材料結構,已成為半導體先進製程檢測的關鍵技術。隨著晶片製程進入2奈米時代並朝1.4奈米邁進,精密檢測設備與高純度材料成為台灣半導體產業維持全球領先地位的核心要素,而台積電在先進製程的技術優勢,更被認為在未來5年內毫無對手。