在半導體先進製程中,製程設備的高溫爐需要降溫,且過程中也會產生有害氣體,這些問題的解決方案需要有結合AI技術的智能設備,而精遠科技公司所提供的節能冰水機、AMC化學濾網正好瞄準客戶需求,且有90%的訂單都來自台積電。
精遠科技公司業務經理黎鈺蓉接受《TVBS新聞網》訪問表示,半導體的製程設備溫度會直接造成良率的好壞,因此溫度控制很重要,精遠所提供的冰水機廣泛用於先進半導體製程,也是國內唯一獲得先進製程認證冰水機供應商,結合AI模組即時監控,系統效率最佳化運作,可以滿足半導體製程溫度控制,也可針對半導體供應化學品,做不同製程溫度控制。
黎鈺蓉表示,由於精遠的老闆具備國家級的冷凍空調技師證照,因此在冰水機部分採用I3以上的節能馬達,因應現在的ESG環保節能需求,更有低碳設備,讓半導體製程中產生的有害氣體,經過「廢氣處理機」後變成無害氣體再排出。
此外,精遠也將製程中會用到的濾網,改成「化學再生濾網」,將原本鋁材質的外框,改為可回收再次使用的材質,避免因為要熱熔鋁回收而產生戴奧辛汙染環境。而濾網經過5至10次的再生利用,相當於減少多次的廢棄物處理,且再生處理費用較新濾網便宜,產生經濟的節省效益。目前精遠已和台積電合作約15年左右,約90%訂單都來自台積電,且也跟著他們腳步海外設分公司,包括在美國亞利桑那州、日本熊本、南京都有精遠的足跡。
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