外傳南科3奈米廠今天開始裝機作業，晶圓代工龍頭台積電表示，不評論市場傳言，強調3奈米廠依規劃進展，將於明年下半年量產。
根據台積電規劃，位於南科的晶圓18廠第1、2、3、4期是5奈米生產基地；其中，第1、2、3期已經開始量產，4期興建中。晶圓18廠第5、6、7、8期是未來3奈米生產基地。
針對外傳南科3奈米廠今天開始裝機作業，台積電表示，不評論市場傳言，強調3奈米廠依規劃時程進展，將如期於今年試產，明年下半年量產。
至於南部廠房日前來自廠商供應的氣體疑似受到汙染事件，台積電表示，目前已完成後續的作業，對營運並無造成實質的影響，也不影響產品交期。（中央社）
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