SEMICON/搶攻AMC新商機!濾能首套SPR落地、再生濾網Q4將出貨
- 記者:蘇憶歡
- 發佈時間:2026.09.02 11:00
- 最後更新時間:2026.09.02 11:00
- 記者:蘇憶歡
- 發佈時間:2026.09.02 11:00
- 最後更新時間:2026.09.02 11:00
本次半導體展濾能秀出GFT-SPR預水洗反應單元過濾設備等新品。(圖/濾能提供)
半導體先進製程對微污染控制要求愈來愈嚴格,也讓AMC防治技術迎來新商機,AMC微污染防治與半導體化學濾網廠濾能(6823)今(2)日參加SEMICON Taiwan 2026,秀出GFT-SPR預水洗反應單元過濾設備、高階AMC化學濾網及循環再生技術。其中,SPR已完成首套設備裝機,再生濾網也通過主要客戶認證,兩項新品預計第四季陸續出貨,預期將對營收有不錯的貢獻。
SPR首套設備完成裝機 濾能新品正式落地
AMC微污染防治與半導體化學濾網廠濾能(6823)指出,GFT-SPR今年迎來重要進展,首套設備已完成裝機。SPR可針對特定分子污染物進行前端處理,再搭配既有AMC化學濾網,擴大微污染控制應用。後續公司將持續累積實際運轉數據,並依客戶需求擴大應用。
再生濾網通過認證 Q4啟動出貨
另外,在再生濾網方面同樣取得進展,目前已通過主要客戶認證,預計第四季正式出貨、開始貢獻營收。和傳統一次性濾網相比,再生濾網可延長使用週期,降低耗材使用及廢棄物,符合半導體產業減碳與循環經濟趨勢。
隨著SPR完成裝機、再生濾網通過認證,濾能兩項新產品均進入商業化階段。公司後續將持續推動SPR模組化應用,同時擴大再生濾網供應,有望提高新品營收占比,成為下一階段成長動能。
另外,濾能也表示,隨著半導體製程進入EUV世代,AMC控制標準也持續提高,部分應用已進入sub-ppb等級,加上晶圓廠擴產與潔淨室規模擴大,帶動化學濾網及微污染控制需求。未來產品布局也從傳統化學濾網,逐步延伸至設備與循環再生技術。




