美商英特格(Entegris)擴大在台灣投資,將投資600萬美元,約新台幣1.8億元,因應先進製程及關鍵半導體製程在產量、可靠度與性能方面的需求。
英特格指出,這次擴大台灣投資,除將擴建新竹廠房,提升化學機械研磨(CMP)過濾器用的奈米熔噴濾芯產能,並導入高靈敏度晶圓檢測系統及塗布機等。
隨著高靈敏度晶圓檢測系統導入,英特格在台灣的晶圓檢測能力將可擴及19奈米,將有利新產品開發,及改善產品性能。
英特格表示,台灣技術研發中心自2006年成立,過去28年來不斷擴大在台灣的業務,這次擴大在台灣投資,主要希望強化在地開發能力,滿足客戶先進及關鍵製程可靠度與性能的需求。
除新竹廠外,英特格也於桃園楊梅及新竹湖口設廠,提供包括CMP及先進微污染控制過濾器和高密度聚乙烯統等多元產品,與泵浦維修、靜電吸盤鍍膜及晶圓清潔等服務。(中央社)
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