隨著半導體產業的發展，國研院儀科中心長期投入半導體高階儀器設備及關鍵零組件之自研自製，協助國內半導體設備供應鏈在地化發展。國研院儀科中心副主任陳峰志表示，儀科中心是國科會底下的研究機構，專業在於儀器開發，特別幫助學術界做前瞻探索、及實驗儀器，不過這些儀器同時也幫助產業，特別適合新技術，真空、光學這兩大領域就很適合半導體產業。
陳峰志表示，目前政府因為重視在地化，因此儀科中心的工作不僅協助學界實驗之外，同時也幫助媒合產業供應鏈，像是儀科中心的重點項目「真空技術」也適合用在半導體製程設備的關鍵開發上。
除了開發半導體產業未來發展所需之關鍵儀器設備，國研院儀科中心亦積極投入半導體二維材料製程開發與驗證，提供產學界研發新穎材料時的測試平台。陳峰志則表示，二維材料目前還是領先趨勢，雖然還沒在市場端，不過已經在研發中，且能再推進奈米製程技術。
此外，儀科中心同時培育下世代半導體技術高階研發人才，希望藉此推動國內高階關鍵儀器設備之自主研發，將上游設備與製程的研發成果完整銜接至下游產業應用。
陳峰志則表示，每年都有100位全國各大學碩博士生，參與儀科中心研究，由大學教授帶領學生，一起投入研究開發領域，同時也一起解決業界所開出的題目，彼此解題，也培養未來的科技人才。
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